TripleGauge® BCG552 在一個(gè)傳感器法蘭中結(jié)合了 3 個(gè)真空傳感元件。這款全新 Trigon TM系列的旗艦產(chǎn)品提供了從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1500 mbar) 的極寬測量范圍。憑借其附加的 ATM 傳感器，BCG552 非常適合壓差測量并在多種應(yīng)用中用作真空開關(guān)。

支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內(nèi)提供的精度、可重復(fù)性和使用壽命，而小型電容膜片壓力計(jì)在 ATM 范圍內(nèi)具有的精度，并且與氣體類型無關(guān)。

德國inficon熱電離真空計(jì)BCG552優(yōu)點(diǎn)

ü 3 + 1 傳感元件可實(shí)現(xiàn)極寬的測量范圍、降低成本并節(jié)省空間

ü 2 條用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的燈絲

ü 10 Torr 以上的獨(dú)立于氣體類型的壓力測量為任何氣體混合物提供更可靠的負(fù)載鎖定控制

ü 壓差測量消除了與大氣壓力變化相關(guān)的不確定性

ü 自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員干預(yù)

ü 電隔離電子器件以避免雜散電流

ü 滑動排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結(jié)

ü 設(shè)定點(diǎn)繼電器

ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面

ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用

ü 向后兼容 TripleGauge® BCG450

ü RoHS 合規(guī)性

德國inficon熱電離真空計(jì)BCG552典型應(yīng)用

· 半導(dǎo)體工藝、傳輸室和負(fù)載鎖定室中的壓力測量

· 工業(yè)涂料

· 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

inficon熱電離真空計(jì)BCG552規(guī)格

測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2） 5 × 10 -10 … 1500 毫巴

準(zhǔn)確性

950 ... 1050 毫巴 ：讀數(shù)的 ±2.5%

50 ... 950 毫巴 ：讀數(shù)的±5%

1 × 10 -8 … 50 毫巴： ±15 讀數(shù)

重復(fù)性：讀數(shù)的 5%，1 × 10 -8 … 1050 mbar（穩(wěn)定 10 分鐘后）

暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢